半導体概要

シリコン、石英ガラス、レアメタル（希少金属）などを利用した半導体・MEMS分野で、新たな生産技術の確立に携わる方々に、クリーンで耐電磁のセンシングサービスを提供します。

　

・クリーンルーム内の温度分布モニタリング（多点）
・微小歪みモニタリング

●手法

多点歪み法、多点温度法
手法に関してはこちら>>

この分野の実例

・実例（半導体）：光ファイバ多点温度測定システム（2006年〜）
ＦＢＧセンサによる空間温度計測システムです。空間にＦＢＧセ…